了解SMC2通電磁閥VX220DZ1B
說明變更的密封材料和泄漏的部件號
要訂購其他東西“無"（標準），列出開始與符號
X“，其是每個符號為"身體表面處理“，"密封材料“
然后“更改的部分"在去年。
自動開關(guān)不適用于高溫規(guī)格（溫度
規(guī)格H0，H2，H3）。標準導線長度為0.5m。添加“L"到
零件號的Z后3時m的需要，“M"時，1米，和“Z"時，5微米。
注1）值在環(huán)境溫度下，不包括氣體滲透。
注2）參考部分第66頁上的數(shù)字“建設(shè)"的改變
part.Number表示零件號“建設(shè)"的相應(yīng)。
注1）主排氣門電導是閥，在具有相同外形尺寸的“分子流"肘。Z初的排氣閥導
值的“粘流" 。流量調(diào)節(jié)不能用于初始排氣閥。
注2 ）真空潤滑脂（氟基，Y - VAC2 ）被施加到真空組件的外部密封。
常閉（加壓打開，彈簧密封） [兩個主與初始排氣閥）
1.3 ×10-10 ，在常溫下（在標準材料，氟橡膠） ，不含氣
機身：鋁合金，波紋管：不銹鋼316L ，
波紋管架：304不銹鋼，氟橡膠（標準密封材料）注2 ）
0.4 ?0.7 [兩個主與初始排氣閥]
與低釋氣，低*設(shè)置，低氣體滲透性
率，這是Z的密封材料，高真空。標準
SMC的高真空角閥材料是三菱。
是選擇一種模式取決于其應(yīng)用，因為
一種改進的材料化合物（ 3310-75 ），其降低了
重量減少率與O2等離子體也可以。
的Kalrez ㈢ 。的Kalrez ㈢是陶氏杜邦高彈性體的注冊。
這種材料，全氟橡膠（FFKM ） ，具有優(yōu)良的耐熱和
耐化學性，但它的*設(shè)定為大的，并且特別
謹慎是必要的。變化是可提供改進的等離子
（O 2 ， CF 4）和微粒的電阻;因此，是選擇
基于所述應(yīng)用程序類型。
FKM 。是Chemraz ㈢的幾個變化可用，這是明智
根據(jù)所的特定等離子體時，選擇并。
化合物70W ：全氟橡膠（ FFKM ）不

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